作者前台积电建厂专家编辑苏扬工信部的一份文件再次将国产光刻机研发推入公众视线月日工信部旗下账号工信微报披露了工信部于月日签发的关于引发首台套重大技术装备推广应用指导目录年版的通知文件如下图通知文件的电...